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碳化硅（SiC）晶圓超聲劃�

�(fā)布：2022-06-27

SiC超聲輔助切割技�

引文：DISCO Technical Review Mar. 2016

摘要：SiC是一種難加工的材�，有望成為功率器件的新材�，因其硬度而進行常規(guī)刀片切�。建議使用超聲波切割和隱形切割加工SiC晶圓。在這篇綜述中，我們介紹了這些劃片技術的每一個特�，以及比較質量和生產率�

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Dicing technologies for SiC.pdf

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